粒徑、數值潔淨度級別

塵埃最大允許數/立方米

微生物最大允許數

≥0.5um

≥5um

浮遊菌/立方米

沉降菌/皿

100級

3,500

0

5

1

10,000級

350,000

2,000

100

3

100,000級

3,500,000

20,000

500

10

300,000級

10,500,000

60,000

—

15

空氣潔淨度等級（N）

大於或等於所標粒徑的粒子最大濃度限值（個/每立方米空氣粒子）

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000